文献
J-GLOBAL ID:200902249641662275
整理番号:04A0370357
深UVリソグラフィーにより作製した低損失SOIフォトニックワイヤとリング共振器
Low-Loss SOI Photonic Wires and Ring Resonators Fabricated With Deep UV Lithography
著者 (9件):
DUMON P
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
BOGAERTS W
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
WIAUX V
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
WOUTERS J
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
BECKX S
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
VAN CAMPENHOUT J
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
TAILLAERT D
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
LUYSSAERT B
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
BIENSTMAN P
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
資料名:
IEEE Photonics Technology Letters
(IEEE Photonics Technology Letters)
巻:
16
号:
5
ページ:
1328-1330
発行年:
2004年05月
JST資料番号:
T0721A
ISSN:
1041-1135
CODEN:
IPTLEL
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)