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文献
J-GLOBAL ID:200902249641662275   整理番号:04A0370357

深UVリソグラフィーにより作製した低損失SOIフォトニックワイヤとリング共振器

Low-Loss SOI Photonic Wires and Ring Resonators Fabricated With Deep UV Lithography
著者 (9件):
DUMON P
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
BOGAERTS W
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
WIAUX V
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
WOUTERS J
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
BECKX S
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
VAN CAMPENHOUT J
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
TAILLAERT D
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
LUYSSAERT B
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
BIENSTMAN P
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)

資料名:
IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Photonics Technology Letters)

巻: 16  号:ページ: 1328-1330  発行年: 2004年05月 
JST資料番号: T0721A  ISSN: 1041-1135  CODEN: IPTLEL  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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