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資料名：
巻： 55 号： 2 ページ： 173-176 発行年： 2006年02月15日
JST資料番号： F0385A ISSN： 0514-5163 CODEN： ZARYA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902250288380269
整理番号：06A0117951
SRリソグラフィを用いて製作した複合圧電材料の内部共振
Internal Resonant Mode of Piezo-Composite Fabricated Using X-Ray Lithography
平田嘉裕
(住友電気工業 エレクトロニクス・材料研)
,
沼沢稔之
(住友電気工業 エレクトロニクス・材料研)
,
仲前一男
(住友電気工業 エレクトロニクス・材料研)
,
高田博史
(住友電気工業 エレクトロニクス・材料研)
資料名：
材料
(Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻： 55 号： 2 ページ： 173-176 発行年： 2006年02月15日
JST資料番号： F0385A ISSN： 0514-5163 CODEN： ZARYA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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