文献
J-GLOBAL ID:200902250540623064
整理番号:05A0304393
スパッタしたSnO2膜のH2ガス検出特性への密度及び厚さの効果
Effect of density and thickness on H2-gas sensing property of sputtered SnO2 films
著者 (6件):
YAMAZAKI Toshinari
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
OKUMURA Hitosi
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
JIN Cheng-Ji
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
NAKAYAMA Atsushi
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
KIKUTA Toshio
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
NAKATANI Noriyuki
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
77
号:
3
ページ:
237-243
発行年:
2005年02月18日
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)