文献
J-GLOBAL ID:200902252337703101
整理番号:05A0393215
MEMSにおけるマイクロ片持梁の適応振動制御
Adaptive vibration control of micro-cantilever beam in MEMS
著者 (3件):
ZHANG Wenming
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
MENG Guang
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
LI HongGuang
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
資料名:
Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society
(Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society)
巻:
30th Vol.3
ページ:
2430-2435
発行年:
2004年
JST資料番号:
H0475B
ISSN:
1553-572X
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)