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文献
J-GLOBAL ID:200902253343705643   整理番号:08A0441078

PLD法を用いた多孔質Si基板上への鉄シリサイドドロップレットの室温形成

著者 (5件):
吉田隆一
(首都大学東京)
安次富雅勤
(首都大学東京)
菅原宏治
(首都大学東京)
岸眞人
(東大 工)
土屋昌弘
(NICT)

資料名:
応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻: 55th  号:ページ: 1435  発行年: 2008年03月27日 
JST資料番号: Y0054A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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