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文献
J-GLOBAL ID:200902253529534067   整理番号:06A0095491

窒化アルミニウムのエーロゾル析出における一次粉末の影響

Effect of primary powder in aerosol deposition of aluminum nitride
著者 (2件):
IWATA Atsushi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba-shi, JPN)
AKEDO Jun
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba-shi, JPN)

資料名:
Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)

巻: 30  号:ページ: 1021-1024  発行年: 2005年12月 
JST資料番号: L4468A  ISSN: 1382-3469  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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