文献
J-GLOBAL ID:200902256261217879
整理番号:04A0021156
μジェットCVDによる局所蒸着
Localized deposition by μ-jet-CVD
著者 (2件):
HOLLAENDER A
(Fraunhofer-Inst. fuer Angewandte Polymerforsch., Golm, DEU)
,
ABHINANDAN L
(Center for Advanced Technol., Indore, IND)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
174/175
ページ:
1175-1177
発行年:
2003年09月
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)