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文献
J-GLOBAL ID:200902256321088038   整理番号:06A0722370

銅線電気抵抗率におよぼすフォノン,幾何構造,不純物と粒子サイズの影響

Influence of phonon, geometry, impurity, and grain size on Copper line resistivity
著者 (4件):
PLOMBON J. J.
(Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)
ANDIDEH Ebrahim
(Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)
DUBIN Valery M.
(Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)
MAIZ Jose
(Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 89  号: 11  ページ: 113124-113124-3  発行年: 2006年09月11日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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