文献
J-GLOBAL ID:200902256321088038
整理番号:06A0722370
銅線電気抵抗率におよぼすフォノン,幾何構造,不純物と粒子サイズの影響
Influence of phonon, geometry, impurity, and grain size on Copper line resistivity
著者 (4件):
PLOMBON J. J.
(Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)
,
ANDIDEH Ebrahim
(Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)
,
DUBIN Valery M.
(Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)
,
MAIZ Jose
(Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
89
号:
11
ページ:
113124-113124-3
発行年:
2006年09月11日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)