文献
J-GLOBAL ID:200902256614622616
整理番号:04A0835662
CMPにおける酸化セリウムスラリー セリア/けい酸塩相互作用の電気泳動移動度および吸着研究
Cerium Oxide Slurries in CMP. Electrophoretic Mobility and Adsorption Investigations of Ceria/Silicate Interaction
著者 (2件):
SUPHANTHARIDA P
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
OSSEO-ASARE K
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
151
号:
10
ページ:
G658-G662
発行年:
2004年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)