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資料名：
巻： 101 号： 10 ページ： 103509 発行年： 2007年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902259243335901
整理番号：07A0548829
HF/FeCl3水溶液中でフォトエッチングした発光多孔質シリコンの特性
Properties of light-emitting porous silicon photoetched in aqueous HF/FeCl3 solution
XU Yan Kai
(Dep. of Electronic Engineering, Fac. of Engineering, Gunma Univ., Kiryu-shi, Gunma 376-8515, JPN)
,
ADACHI Sadao
(Dep. of Electronic Engineering, Fac. of Engineering, Gunma Univ., Kiryu-shi, Gunma 376-8515, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 101 号： 10 ページ： 103509 発行年： 2007年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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