Sorry, this section is only available in Japanese.
著者 (2件)：
資料名：
巻： 132 号： 1/3 ページ： 28-34 発行年： 2003年01月10日
JST資料番号： H0650A ISSN： 0924-0136 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902259574633279
整理番号：03A0062455
シリコンウエハの化学機械的研磨に及ぼすスラリー粘度の影響
The effect of slurry viscosity on chemical-mechanical polishing of silicon wafers.
MULLANY B
(Univ. Coll. Dublin, Dublin, IRL)
,
BYRNE G
(Univ. Coll. Dublin, Dublin, IRL)
資料名：
Journal of Materials Processing Technology
(Journal of Materials Processing Technology)
巻： 132 号： 1/3 ページ： 28-34 発行年： 2003年01月10日
JST資料番号： H0650A ISSN： 0924-0136 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。