文献
J-GLOBAL ID:200902260254959620
整理番号:08A0649754
チェス盤PSM(CB-PSM)による準等焦点ホールパターンの形成
Quasi-iso-focal hole pattern formation by Checker-Board PSM (CB-PSM)
著者 (6件):
NAKAO S.
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
MAEJIMA S.
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
MINAMIDE A.
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
SAITOH H.
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
HANAWA T.
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
SUKO K.
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6924
号:
Pt.2
ページ:
692432.1-692432.9
発行年:
2008年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)