文献
J-GLOBAL ID:200902260359206880
整理番号:04A0569051
熱陰極によるアーク状放電を用いたPBII用金属プラズマ源
Metal plasma source for PBII using arc-like discharge with hot cathode
著者 (6件):
CHAYAHARA A
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Osaka, JPN)
,
MOKUNO Y
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Osaka, JPN)
,
KINOMURA A
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Osaka, JPN)
,
TSUBOUCHI N
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Osaka, JPN)
,
HECK C
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Osaka, JPN)
,
HORINO Y
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Osaka, JPN)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
186
号:
1/2
ページ:
157-160
発行年:
2004年08月02日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)