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著者 (4件)：
資料名：
巻： 15 号： 1 ページ： S137-S140 発行年： 2006年02月
JST資料番号： W0480A ISSN： 0964-1726 CODEN： SMSTER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902260365587616
整理番号：06A0618960
SOIウエハ上にゾル-ゲル法で堆積したPZT厚膜による平坦な圧電片持梁の作製と性能
Fabrication and performance of a flat piezoelectric cantilever obtained using a sol-gel derived PZT thick film deposited on a SOI wafer
KOBAYASHI T
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
TSAUR J
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
ICHIKI M
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
MAEDA R
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Smart Materials and Structures
(Smart Materials and Structures)
巻： 15 号： 1 ページ： S137-S140 発行年： 2006年02月
JST資料番号： W0480A ISSN： 0964-1726 CODEN： SMSTER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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