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著者 (5件)：
資料名：
巻： 242 号： 1-2 ページ： 88-92 発行年： 2006年01月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902260920036302
整理番号：06A0164060
イオン注入により生じた残留応力を測定する押込み法
Indentation method to measure the residual stress induced by ion implantation
WANG Q.
(AIST, Tsukuba, JPN)
,
OZAKI K.
(AIST, Tsukuba, JPN)
,
ISHIKAWA H.
(Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN)
,
NAKANO S.
(AIST, Tsukuba, JPN)
,
OGISO H.
(AIST, Tsukuba, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 242 号： 1-2 ページ： 88-92 発行年： 2006年01月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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