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文献
J-GLOBAL ID:200902261444979259   整理番号:08A0420417

低動作温度で高いH2感度を有する多孔質SnO2スパッタ膜

Porous SnO2 sputtered films with high H2 sensitivity at low operation temperature
著者 (6件):
SHEN Yanbai
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
YAMAZAKI Toshinari
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
LIU Zhifu
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
JIN Chengji
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
KIKUTA Toshio
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
NAKATANI Noriyuki
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)

資料名:
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

巻: 516  号: 15  ページ: 5111-5117  発行年: 2008年06月02日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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