文献
J-GLOBAL ID:200902261444979259
整理番号:08A0420417
低動作温度で高いH2感度を有する多孔質SnO2スパッタ膜
Porous SnO2 sputtered films with high H2 sensitivity at low operation temperature
著者 (6件):
SHEN Yanbai
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
,
YAMAZAKI Toshinari
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
,
LIU Zhifu
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
,
JIN Chengji
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
,
KIKUTA Toshio
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
,
NAKATANI Noriyuki
(Fac. of Engineering, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
516
号:
15
ページ:
5111-5117
発行年:
2008年06月02日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)