文献
J-GLOBAL ID:200902261605883010
整理番号:06A0475013
ウエット作製したSi(111):H表面上の個々のドーパント原子の走査型トンネル顕微鏡検出
Scanning tunneling microscopy detection of individual dopant atoms on wet-prepared Si(111):H surfaces
著者 (4件):
NISHIZAWA M.
(MIRAI, Advanced Semiconductor Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1 Higashi ...)
,
BOLOTOV L.
(MIRAI, Advanced Semiconductor Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1 Higashi ...)
,
TADA T.
(MIRAI, Advanced Semiconductor Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1 Higashi ...)
,
KANAYAMA T.
(MIRAI, Advanced Semiconductor Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1 Higashi ...)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
24
号:
1
ページ:
365-369
発行年:
2006年01月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)