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資料名：
巻： 18 号： 7 ページ： 073001,1-13 発行年： 2008年07月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902262229972339
整理番号：08A0776526
MEMSのウエハレベルのパッケージング
Wafer level packaging of MEMS
ESASHI Masayoshi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 18 号： 7 ページ： 073001,1-13 発行年： 2008年07月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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