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文献
J-GLOBAL ID:200902263150815102   整理番号:07A1233077

空洞ターゲットを用いた炭酸ガスレーザ生成Snプラズマからの極端紫外線放出増強

Enhancement of extreme ultraviolet emission from a CO2 laser-produced Sn plasma using a cavity target
著者 (5件):
UENO Yoshifumi
(EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN)
SOUMAGNE Georg
(EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN)
SUMITANI Akira
(EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN)
ENDO Akira
(EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN)
HIGASHIGUCHI Takeshi
(Dep. of Energy and Environmental Sci., Graduate School of Engineering, and Center for Optical Res. and Education ...)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 91  号: 23  ページ: 231501-231501-3  発行年: 2007年12月03日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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