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資料名：
巻： 51 号： 5 ページ： 605-633 発行年： 2007年09月
JST資料番号： D0061B ISSN： 0018-8646 CODEN： IBMJAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902264140594848
整理番号：07A0979063
半導体マイクロエレクトロニクスにおけるポリマー自己組織化
Polymer self assembly in semiconductor microelectronics
BLACK C. T.
(Brookhaven National Lab., New York)
,
RUIZ R.
(Hitachi Global Storage Technol., California)
,
BREYTA G.
(IBM Res. Div., California)
,
CHENG J. Y.
(IBM Res. Div., California)
,
COLBURN M. E.
(IBM Res. Div., New York)
,
GUARINI K. W.
(IBM Systems and Technol. Group, New York)
,
KIM H.-C.
(IBM Res. Div., California)
,
ZHANG Y.
(IBM Res. Div., New York)
資料名：
IBM Journal of Research and Development
(IBM Journal of Research and Development)
巻： 51 号： 5 ページ： 605-633 発行年： 2007年09月
JST資料番号： D0061B ISSN： 0018-8646 CODEN： IBMJAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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