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文献
J-GLOBAL ID:200902265033145433   整理番号:07A1048403

時定数操作によるフォトレジストへの高アスペクト比の穴と溝のレーザ加工

Laser fabrication of high-aspect-ratio holes and grooves in photoresist by time constant manipulation
著者 (2件):
EGAMI C.
(Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)
LIU Y.
(Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)

資料名:
Optics Communications  (Optics Communications)

巻: 280  号:ページ: 188-191  発行年: 2007年12月01日 
JST資料番号: A0678B  ISSN: 0030-4018  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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