文献
J-GLOBAL ID:200902265150558153
整理番号:09A0713562
3次曲げモードを利用するシリコン梁共振器
Silicon Beam Resonator Utilizing the Third-Order Bending Mode
著者 (8件):
OKADA Mitsuhiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
OKADA Mitsuhiro
(Sanyo Electric Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
NAGASAKI Hironori
(Sanyo Electric Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
TAMANO Akimasa
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
TAMANO Akimasa
(Sanyo Electric Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
NIKI Kazuya
(Sanyo Electric Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
TANIGAWA Hiroshi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
SUZUKI Kenichiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
48
号:
6,Issue 2
ページ:
06FK03.1-06FK03.8
発行年:
2009年06月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)