文献
J-GLOBAL ID:200902265771886936
整理番号:09A1238306
SU-8片持梁構造によるフレキシブルなエレクトロレオロジカルマイクロバルブ(FERV)とそのマイクロアクチュエータへの応用
A flexible electro-rheological microvalve (FERV) based on SU-8 cantilever structures and its application to microactuators
著者 (4件):
KIM Joon-wan
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., R2-42, 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
,
YOSHIDA Kazuhiro
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., R2-42, 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
,
KOUDA Kumiko
(Graduate School, Tokyo Inst. of Technol., JPN)
,
YOKOTA Shinichi
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., R2-42, 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
156
号:
2
ページ:
366-372
発行年:
2009年12月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)