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資料名：
巻： 96 号： 9 ページ： 4771-4776 発行年： 2004年11月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902266071925210
整理番号：04A0843217
アルゴン誘導結合プラズマにおける遷移動力学に対する高周波駆動パワー,気体圧力および窒素シーディングの効果
Effects of radio-frequency driving power, gas pressure, and nitrogen seeding on the transition dynamics in argon inductively coupled plasmas
RAZZAK M A
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TAKAMURA S
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
UESUGI Y
(Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 96 号： 9 ページ： 4771-4776 発行年： 2004年11月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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