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著者 (7件)：
資料名：
巻： 47 号： 9 Issue 1 ページ： 7349-7355 発行年： 2008年09月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902266644233377
整理番号：08A0996346
オゾンと1,1,1,3,3,3-ヘキサメチルジシラザンとの光化学反応 光化学蒸着過程での前駆体間の気相反応の解析
Photochemical Reaction of Ozone and 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane: Analysis of the Gas Reaction between Precursors in a Photochemical Vapor Deposition Process
NAKAMURA Ken
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
NONAKA Hidehiko
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KAMEDA Naoto
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KAMEDA Naoto
(Meidensha Corp., Shizuoka, JPN)
,
NISHIGUCHI Tetsuya
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
NISHIGUCHI Tetsuya
(Meidensha Corp., Shizuoka, JPN)
,
ICHIMURA Shingo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47 号： 9 Issue 1 ページ： 7349-7355 発行年： 2008年09月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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