文献
J-GLOBAL ID:200902267513347411
整理番号:03A0748398
MEMSの現状と将来展望 パワーMEMS
著者 (5件):
小林健
(産業技術総合研)
,
一木正聡
(産業技術総合研)
,
SHAN X C
(Singapore Inst. of Manufacturing Technol.-SIM Tech, Singapore)
,
尾崎浩一
(産業技術総合研)
,
前田龍太郎
(産業技術総合研)
資料名:
表面技術
(Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻:
54
号:
10
ページ:
655-659
発行年:
2003年10月01日
JST資料番号:
G0441B
ISSN:
0915-1869
CODEN:
HYGIEX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)