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著者 (6件)：
資料名：
巻： 44 号： 11 ページ： 8182-8185 発行年： 2005年11月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902267717699333
整理番号：05A1022896
矩形石英板回転クリーナにおける空気流
Air Flow in Square Quartz Plate Spin Cleaner
HABUKA Hitoshi
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
PAN Hairong
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
FUJITA Ko
(Pre-Tech Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
KATO Masayuki
(Pre-Tech Co., Ltd., Shizuoka, JPN)
,
TAKEUCHI Takashi
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
AIHARA Masahiko
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 11 ページ： 8182-8185 発行年： 2005年11月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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