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著者 (4件)：
資料名：
巻： 437 号： 1/2 ページ： 170-175 発行年： 2003年08月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902270049914538
整理番号：03A0542472
真空アーク蒸着したTiN/c-Si被覆層の結晶粒径,内部応力,硬さに対する基板バイアス電位の影響
Effect of the substrate bias potential on crystalline grain size, intrinsic stress and hardness of vacuum arc evaporated TiN/c-Si coatings
ESPINOZA-BELTRAN F J
(CINVESTAV-IPN, Qro., MEX)
,
CHE-SOBERANIS O
(CINVESTAV-IPN, Qro., MEX)
,
GARCIA-GONZALEZ L
(CINVESTAV-IPN, Qro., MEX)
,
MORALES-HERNANDEZ J
(Univ. Autonoma de Queretaro, Qro., MEX)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 437 号： 1/2 ページ： 170-175 発行年： 2003年08月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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