文献
J-GLOBAL ID:200902270083989067
整理番号:07A0171086
GaAsを基本とするエアブリッジ型の2次元フォトニック結晶を用いた板状導波路において重要な役割を果たすナノ組み立て工程に関する研究
Studies on key nano-fabrication processes for GaAs-based air-bridge-type two-dimensional photonic-crystal slab waveguides
著者 (10件):
IKEDA Naoki
(Femtosecond Technol. Res. Assoc. (FESTA), Tsukuba, JPN)
,
IKEDA Naoki
(Univ. Tsukuba, Tsukuba, JPN)
,
SUGIMOTO Yoshimasa
(Femtosecond Technol. Res. Assoc. (FESTA), Tsukuba, JPN)
,
SUGIMOTO Yoshimasa
(Univ. Tsukuba, Tsukuba, JPN)
,
TANAKA Yu
(Femtosecond Technol. Res. Assoc. (FESTA), Tsukuba, JPN)
,
INOUE Kuon
(Chitose Inst. Sci. and Technol., Chitose, JPN)
,
ODA Hisaya
(Chitose Inst. Sci. and Technol., Chitose, JPN)
,
WATANABE Yoshinori
(Univ. Tsukuba, Tsukuba, JPN)
,
ASAKAWA Kiyoshi
(Femtosecond Technol. Res. Assoc. (FESTA), Tsukuba, JPN)
,
ASAKAWA Kiyoshi
(Univ. Tsukuba, Tsukuba, JPN)
資料名:
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻:
22
号:
2
ページ:
149-157
発行年:
2007年02月
JST資料番号:
E0503B
ISSN:
0268-1242
CODEN:
SSTEET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)