文献
J-GLOBAL ID:200902272322304317
整理番号:06A0877440
複雑な3D MEMS構造用の多方向UVリソグラフィー
Multidirectional UV Lithography for Complex 3-D MEMS Structures
著者 (3件):
YOON Yong-Kyu
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
,
PARK Jung-Hwan
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
,
ALLEN Mark G.
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
15
号:
5
ページ:
1121-1130
発行年:
2006年10月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)