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J-GLOBAL ID：200902273291581542 整理番号：07A0548480

シリコンの触媒参照エッチング

Catalyst-referred etching of silicon

著者 (8件)：

HARA Hideyuki

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

,

SANO Yasuhisa

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

,

ARIMA Kenta

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

,

YAGI Keita

(Res. Center for Ultra Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., JPN)

,

MURATA Junji

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

,

KUBOTA Akihisa

(Dep. of Mechanical Engineering and Materials Sci., Kumamoto Univ., JPN)

,

MIMURA Hidekazu

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

,

YAMAUCHI Kazuto

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

資料名：

Science and Technology of Advanced Materials (Science and Technology of Advanced Materials)

巻： 8 号： 3 ページ： 162-165 発行年： 2007年04月
JST資料番号： W1262A ISSN： 1468-6996 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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