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著者 (6件)：
資料名：
巻： 5719 ページ： 6-13 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902273860175167
整理番号：05A0488777
微細立体リソグラフィーで作製した微小片持梁のYoung率制御
Young’s Module Control of the Micro Cantilever made by Micro-Stereolithography
MIWA M.
,
DOUOKA K.
(Wakayama Univ., Wakayama, Japa)
,
YONEYAMA S.
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
TUCHITANI S.
(Wakayama Univ., Wakayama, Japa)
,
KOSIHMOTO Y.
(Wakayama Univ., Wakayama, Japa)
,
KANEKO R.
(Wakayama Univ., Wakayama, Japa)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 5719 ページ： 6-13 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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