文献
J-GLOBAL ID:200902275050766536
整理番号:05A0100699
電気化学エッチングとリソグラフィーによる大面積三次元構造形成
Large-Area Three-Dimensional Structuring by Electrochemical Etching and Lithography
著者 (5件):
MATTHIAS S
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
,
MUELLER F
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
,
JAMOIS C
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
,
WEHRSPOHN R B
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
,
GOESELE U
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
資料名:
Advanced Materials
(Advanced Materials)
巻:
16
号:
23/24
ページ:
2166-2170
発行年:
2004年12月27日
JST資料番号:
W0001A
ISSN:
0935-9648
CODEN:
ADVMEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)