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著者 (6件)：
資料名：
巻： 388 ページ： 195-198 発行年： 2009年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902275464450476
整理番号：09A0157606
エアロゾルデポジションから得られた金属ベースのマイクロ光学スキャナーのレーザーアニール
Laser-Anneal of Metal-based Micro Optical Scanner Derived by Aerosol Deposition
BABA So
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN)
,
PARK Jae-Hyuk
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN)
,
SATO Harumichi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN)
,
NAKANO Shizuka
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN)
,
ASHIDA Kiwamu
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN)
,
AKEDO Jun
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN)
資料名：
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻： 388 ページ： 195-198 発行年： 2009年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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