文献
J-GLOBAL ID:200902275818521805
整理番号:03A0875509
有機金属化学気相蒸着により作製したBa(Ti0.85Zr0.15)O3膜の誘電特性
Dielectric Properties of Ba(Ti0.85Zr0.15)O3 Film Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
著者 (3件):
TOHMA T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MASUMOTO H
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
GOTO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
42
号:
11
ページ:
6969-6972
発行年:
2003年11月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)