文献
J-GLOBAL ID:200902275841285000
整理番号:09A0055121
フラーレングラフト化光酸発生剤(PAG)結合重合体レジスト
Fullerene Grafted Photoacid Generator (PAG) Bound Polymer Resists
著者 (4件):
WANG Mingxing
(Univ. North Carolina, North Carolina, USA)
,
LEE Cheng-Tsung
(Georgia Inst. Technol. Atlanta, Georgia, USA)
,
HENDERSON Clifford L.
(Georgia Inst. Technol. Atlanta, Georgia, USA)
,
GONSALVES Kenneth E
(Univ. North Carolina, North Carolina, USA)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
21
号:
6
ページ:
747-751
発行年:
2008年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)