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著者 (5件)：
資料名：
巻： 22 号： 1 ページ： 73-76 発行年： 2009年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902277314952069
整理番号：09A0735552
化学増幅極端紫外線(EUV)レジスト材料としての新しいノリア(水車様環状オリゴマ)誘導体
Novel Noria (Water Wheel-Like Cyclic Oligomer) Derivative as a Chemically Amplified Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material
NISHIKUBO Tadatomi
(Kanagawa Univ., Yokohama, JPN)
,
KUDO Hiroto
(Kanagawa Univ., Yokohama, JPN)
,
SUYAMA Yuji
(Kanagawa Univ., Yokohama, JPN)
,
OIZUMI Hiroaki
(Semiconductor Leading Edge technol., Inc., Ibaraki, JPN)
,
ITANI Toshiro
(Semiconductor Leading Edge technol., Inc., Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 22 号： 1 ページ： 73-76 発行年： 2009年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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