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資料名：
巻： 44 号： 5A ページ： 2976-2981 発行年： 2005年05月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902278041928727
整理番号：05A0538208
多孔質無機低誘電定数材料を用いた低損傷ダマスカスパターン形成
Low-Damage Damascene Patterning Using Porous Inorganic Low-Dielectric-Constant Materials
YONEKURA Kazumasa
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
GOTO Kinya
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
MATSUURA Masazumi
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
FUJIWARA Nobuo
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
,
TSUJIMOTO Kazunori
(Renesas Technol. Corp., Hyogo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 5A ページ： 2976-2981 発行年： 2005年05月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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