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資料名：
巻： 12 号： 1/2 ページ： 7-17 発行年： 2004年01月
JST資料番号： W1123A ISSN： 1385-3449 CODEN： JOELFJ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902279407342662
整理番号：04A0649689
MEMS素子用の薄膜型圧電体
Thin Film Piezoelectrics for MEMS
TROLIER-MCKINSTRY S
(Penn State Univ.)
,
MURALT P
(Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE)
資料名：
Journal of Electroceramics
(Journal of Electroceramics)
巻： 12 号： 1/2 ページ： 7-17 発行年： 2004年01月
JST資料番号： W1123A ISSN： 1385-3449 CODEN： JOELFJ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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