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著者 (9件)：
資料名：
巻： 128 号： 3 ページ： 723-729 発行年： 2006年08月
JST資料番号： C0657A ISSN： 1087-1357 CODEN： JMSEFK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902280203562092
整理番号：06A0640334
ダイヤモンドチップを有する原子間力顕微鏡を用いたシリコン表面のナノメータ加工
Nanomachining of Silicon Surface Using Atomic Force Microscope With Diamond Tip
KAWASEGI Noritaka
(Univ. Toyama, Toyama, JPN)
,
TAKANO Noboru
(Univ. Toyama, Toyama, JPN)
,
OKA Daisuke
(Univ. Toyama, Toyama, JPN)
,
MORITA Noboru
(Univ. Toyama, Toyama, JPN)
,
YAMADA Shigeru
(Univ. Toyama, Toyama, JPN)
,
KANDA Kazutaka
(Nachi-Fujikoshi Corp., Toyama, JPN)
,
TAKANO Shigeto
(Nachi-Fujikoshi Corp., Toyama, JPN)
,
OBATA Tsutomu
(Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN)
,
ASHIDA Kiwamu
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Manufacturing Science and Engineering
(Journal of Manufacturing Science and Engineering)
巻： 128 号： 3 ページ： 723-729 発行年： 2006年08月
JST資料番号： C0657A ISSN： 1087-1357 CODEN： JMSEFK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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