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文献
J-GLOBAL ID:200902280317247650   整理番号:08A0312491

酸化物半導体厚膜を用いたTVOCセンサの開発

著者 (5件):
角崎雅博
(富山県工技セ)
坂井雄一
(富山県工技セ)
田村幾夫
(富山県工技セ)
松原一郎
(産業技術総合研)
伊藤敏雄
(産業技術総合研)

資料名:
電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)

巻: 128  号:ページ: 125-130  発行年: 2008年04月01日 
JST資料番号: L3098A  ISSN: 1341-8939  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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