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文献
J-GLOBAL ID:200902280560122432   整理番号:09A0851356

Si(110)基板上に成長した組成的に一様および段状傾斜のSiGe膜における歪み緩和メカニズム

Strain relaxation mechanisms in compositionally uniform and step-graded SiGe films grown on Si(110) substrates
著者 (8件):
ARIMOTO Keisuke
(Center for Crystal Sci. and Technol., Univ. of Yamanashi, 7-32 Miyamae-cho, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
WATANABE Masato
(Center for Crystal Sci. and Technol., Univ. of Yamanashi, 7-32 Miyamae-cho, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
YAMANAKA Junji
(Center for Crystal Sci. and Technol., Univ. of Yamanashi, 7-32 Miyamae-cho, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
NAKAGAWA Kiyokazu
(Center for Crystal Sci. and Technol., Univ. of Yamanashi, 7-32 Miyamae-cho, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
SAWANO Kentarou
(Res. Center for Silicon Nano-Science, Advanced Res. Laboratories, Tokyo City Univ., 8-15-1 Todoroki, Setagaya-ku ...)
SHIRAKI Yasuhiro
(Res. Center for Silicon Nano-Science, Advanced Res. Laboratories, Tokyo City Univ., 8-15-1 Todoroki, Setagaya-ku ...)
USAMI Noritaka
(Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)
NAKAJIMA Kazuo
(Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)

資料名:
Solid-State Electronics  (Solid-State Electronics)

巻: 53  号: 10  ページ: 1135-1143  発行年: 2009年10月 
JST資料番号: H0225A  ISSN: 0038-1101  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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