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著者 (3件)：
資料名：
巻： 51st ページ： 43-48 発行年： 2008年
JST資料番号： E0063B ISSN： 0737-5921 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902281146959637
整理番号：09A0296818
マグネトロンスパッタリングにおけるターゲットの異常エロージョンについてのモンテカルロ粒子シミュレーション解析
Particle-in-cell Monte Carlo Analysis of Anomalous Target Erosion in Magnetron Sputtering
SIEMERS M.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU)
,
PFLUG A.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU)
,
SZYSZKA B.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU)
資料名：
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 51st ページ： 43-48 発行年： 2008年
JST資料番号： E0063B ISSN： 0737-5921 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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