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文献
J-GLOBAL ID:200902282175551864   整理番号:04A0543854

シンクロトロン放射のX線リソグラフィーを用いた螺旋マイクロコイル用原型の作製

Fabrication of Mold Master for Spiral Microcoil Utilizing X-Ray Lithography of Synchrotron Radiation
著者 (6件):
MEKARU H
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
KUSUMI S
(SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN)
SATO N
(Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN)
YAMASHITA M
(Hyogo Prefectural Inst. of Technol., Kobe, JPN)
SHIMADA O
(SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN)
HATTORI T
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 43  号: 6B  ページ: 4036-4040  発行年: 2004年06月30日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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