文献
J-GLOBAL ID:200902282333488016
整理番号:09A1030385
界面酸化層変調と組み合わせたAl誘起結晶化による絶縁性基板上の配向制御されたSi薄膜
Orientation-controlled Si thin films on insulating substrates by Al-induced crystallization combined with interfacial-oxide layer modulation
著者 (4件):
KUROSAWA Masashi
(Dep. of Electronics, Kyushu Univ., 744 Motooka, Fukuoka 819-0395, JPN)
,
KAWABATA Naoyuki
(Dep. of Electronics, Kyushu Univ., 744 Motooka, Fukuoka 819-0395, JPN)
,
SADOH Taizoh
(Dep. of Electronics, Kyushu Univ., 744 Motooka, Fukuoka 819-0395, JPN)
,
MIYAO Masanobu
(Dep. of Electronics, Kyushu Univ., 744 Motooka, Fukuoka 819-0395, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
95
号:
13
ページ:
132103
発行年:
2009年09月28日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)