文献
J-GLOBAL ID:200902282755900084
整理番号:09A0296924
電子ビーム蒸着により調製した光学皮膜の機械的性質に対する蒸着条件の影響
Influence of Deposition Conditions on Mechanical Properties of Optical Coatings Prepared by Electron Beam Evaporation
著者 (4件):
INOMATA T.
(Opto-Soltec, Inc., Ibaraki, JPN)
,
MURO K.
(Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN)
,
AOKI T.
(Opto-Soltec, Inc., Ibaraki, JPN)
,
OGURA S.
(Kobe Design Univ., Hyogo, JPN)
資料名:
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻:
51st
ページ:
618-621
発行年:
2008年
JST資料番号:
E0063B
ISSN:
0737-5921
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)