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資料名：
巻： 47 号： 2 ページ： 82-86 発行年： 2004年02月20日
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902283076511555
整理番号：04A0206140
スパッタリング法によるカーボンナノフレークの形成
Formation of Carbon Nano-flakes by RF Magnetron Sputtering Method
ZHANG H
(Xian Jiaotong Univ., Xian)
,
吉村勲
(金沢工大 高度材料科学研開セ)
,
草野英二
(金沢工大 高度材料科学研開セ)
,
小暮敏博
(東大 大学院)
,
金原あきら
(金沢工大 高度材料科学研開セ)
資料名：
真空
(Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 47 号： 2 ページ： 82-86 発行年： 2004年02月20日
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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