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資料名：
巻： 33 号： 4 ページ： 861-864 発行年： 2008年12月
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902283314572550
整理番号：09A0123387
多層構造デバイス用の回転ボックス型多元対向ターゲットスパッタリング装置の開発
Development of Rotating Box Type Multi-Facing Target Sputtering System for a Multi-layered Structure Device
MOROHASHI Shinichi
(Yamaguchi Univ., Ube, JPN)
資料名：
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 33 号： 4 ページ： 861-864 発行年： 2008年12月
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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