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文献
J-GLOBAL ID:200902283689232403   整理番号:05A0478870

Nd:YAGパルスレーザによる水晶とシリコンの局所的なレーザ支援共晶接合

Localized laser assisted eutectic bonding of quartz and silicon by Nd:YAG pulsed-laser
著者 (2件):
TAN A.W.Y.
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
TAY F.E.H.
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)

資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻: A120  号:ページ: 550-561  発行年: 2005年05月17日 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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