文献
J-GLOBAL ID:200902283689232403
整理番号:05A0478870
Nd:YAGパルスレーザによる水晶とシリコンの局所的なレーザ支援共晶接合
Localized laser assisted eutectic bonding of quartz and silicon by Nd:YAG pulsed-laser
著者 (2件):
TAN A.W.Y.
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
,
TAY F.E.H.
(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
A120
号:
2
ページ:
550-561
発行年:
2005年05月17日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)