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資料名：
巻： 44 号： 9B ページ： 6981-6984 発行年： 2005年09月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902284114320250
整理番号：05A0996476
電子サイクロトロン共鳴プラズマ照射により調製した酸化ゲルマニウム/ゲルマニウム界面の電気的特性評価
Electrical Characterization of Germanium Oxide/Germanium Interface Prepared by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Irradiation
FUKUDA Yukio
(Tokyo Univ. Sci., Nagano, JPN)
,
UENO Tomoo
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
HIRONO Shigeru
(NTT AFTY Corp., Tokyo, JPN)
,
HASHIMOTO Satoshi
(Texas Instruments Japan Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 9B ページ： 6981-6984 発行年： 2005年09月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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